产品详情
简单介绍：
本款为爱德华APG200系列有源皮拉尼真空计，GMPS采用标准钨铼灯丝搭配前置过滤结构，适配常规中性工艺气体工况；真空端为4VCR全金属密封接头，密封可靠、拆装便捷，适配高纯洁净管路；电气端配备DB9九针D-Sub接口，整机集成传感与驱动电路，无需外置驱动模块，测量区间覆盖常压至5×10⁻⁴ mbar粗、中真空区间，可对接真空控制器、PLC工控系统，实现压力监测、阈值联锁与工艺管控。
详情介绍：
产品作用
1. 洁净真空管路、工艺腔体实时压力采集，输出稳定模拟信号，保障工艺参数平稳运行
2. 常规气体工况下完成腔体抽空终点判定、保压检漏，核查腔体密封状态
3. 支持压力阈值报警，联动泵阀完成联锁防护，规避真空系统异常运行风险
4. 半导体、光学镀膜、科研实验设备留存真空运行数据，满足工艺追溯需求
5. 适配实验室日常点检、真空机组配套监测，方便集成接入现有控制系统
适用场景
半导体制程洁净管路、光学真空镀膜设备、中小型热处理真空炉、高校科研精密实验腔体、分析仪器高纯管路、制药常规真空制程，采用4VCR金属密封管路、DB9电气接线的粗中真空监测场景
