产品详情
简单介绍：
本款为爱德华APG200系列有源皮拉尼真空计，OMPS配置标准传感灯丝搭配前置过滤结构，适配常规中性工艺气体工况；真空端采用8VCR全金属密封接头，密封可靠、可反复拆装；CAL代表出厂完成原厂标准校准并附带校准证书，测量数据具备溯源性。整机集成传感与驱动电路，无需外置驱动模块，测量区间覆盖常压至5×10⁻⁴ mbar粗、中真空，机身相较前代体积缩减约25%，电气接口适配主流真空控制器、PLC工控系统，便于压力监测、阈值联锁与工艺管控集成。
详情介绍：
产品作用
1. 洁净真空管路、工艺腔体实时压力采集，输出稳定信号支撑工艺参数管控
2. 常规气体工况下腔体抽空终点判定、保压检漏，核验腔体密封性能
3. 设定压力阈值报警、联动泵阀完成联锁保护，降低系统异常运行风险
4. 半导体、镀膜、科研装置制程数据留存记录，满足工艺追溯与质量管控要求
5. 实验室定期点检、设备精度比对校准，适配产线质检、体系审核等合规使用场景
适用场景
半导体制程设备、光学真空镀膜设备、中小型热处理真空炉、高校科研精密实验腔体、分析仪器洁净管路、制药常规真空制程，以及采用8VCR金属密封管路、需要计量溯源校准的粗中真空监测场景
