产品详情
简单介绍：
爱德华原厂皮拉尼真空计，裸管无法兰设计，支持150℃烘烤，带原厂校准证书；兼具0-10V模拟输出与RJ45通讯，自带压力继电器与环形状态指示灯，测量范围大气压至5×10⁻⁴mbar。
详情介绍：
产品作用
1. 实时检测粗、低真空段腔体压力；
2. 压力阈值联锁，自动控制泵阀、腔体工艺动作；
3. LED直观显示设备真空与故障状态；
4. 对接PLC/工控机，上传压力数据留存溯源；
5. 耐高温除气，传感器可单独更换，校准证书满足计量合规。
适用场景
半导体镀膜/刻蚀设备、电镜、质谱等科研分析仪器、光学PVD镀膜炉、真空热处理炉、真空烘箱；狭小非标腔体、需计量审核的精密产线与实验室。
