产品详情
简单介绍：
本款为爱德华nAPG200系列数字式有源皮拉尼真空计，XLCS代表铂铱耐腐蚀灯丝结构，适配含腐蚀性工艺气体工况；真空接口采用8VCR全金属密封接头，搭配DB9接口RS232数字通讯，无需额外转换模块即可对接上位机、PLC设备。整机一体化集成传感与驱动电路，测量区间覆盖常压至1×10⁻⁴ mbar粗、中真空，可独立完成压力监测与联锁控制，出厂规格统一，适配洁净腐蚀类高密封真空系统使用。
详情介绍：
主要作用
1. 粗真空、中真空腔体实时压力数值采集与远程数字化监测
2. 半导体、化工腐蚀工艺管路真空度管控、抽空终点判定
3. 真空设备检漏验证、压力阈值报警、系统联锁保护
4. 科研精密腔体、镀膜设备真空数据记录与工艺参数追溯
5. 高洁净、无泄漏要求的金属密封真空管路配套测量
核心产品特点
1. XLCS耐腐蚀灯丝：铂铱合金传感灯丝，耐受卤素、酸性等腐蚀性气体，延长设备使用周期
2. 8VCR金属密封接口：全金属无橡胶密封结构，漏率低、可反复拆装烘烤，适配较高洁净工况
3. RS232数字通讯（DB9）：9针D-Sub标准串口，数据传输稳定，支持多设备组网、远程校准
4. 360°环形LED状态灯：多角度直观显示真空区间，现场巡检无需近距离查看屏幕
5. 可烘烤结构：拆除电控部件后，传感端能支持150℃高温烘烤
6. 内置可调设定点继电器：48V DC/500mA触点，可直接联动阀门、泵体完成自动控制
7. 宽电压供电：15–48V直流宽幅供电，适配各类工业机柜供电系统
8. 紧凑轻量化机身：体积相比旧款缩小25%，狭小腔体、机柜侧面均可安装
适用场景
半导体刻蚀/沉积工艺、化工腐蚀性真空腔体、光学镀膜设备、科研超高洁净实验装置、制药真空制程、各类需要金属密封接口的粗中真空监测场景。
