产品详情
简单介绍:
字型紧凑型皮拉尼真空计,属于 APG200 数字版(nAPG)。 • XMPS:标准钨铼灯丝,带内置过滤器,适合洁净/非腐蚀工况 • 4VCR:4 英寸 VCR 金属密封接口,高真空密封、可反复拆装 • RS232+DB9:数字通讯,直接对接 PC/PLC,无需模拟控制器。
详情介绍:
主要作用
• 粗/中真空系统压力连续监测、远程监控、闭环控制
• 高密封要求设备(镀膜、半导体、分析仪器)真空度检测与联锁保护
• 抽空终点判断、检漏验证、腔体压力记录与追溯
技术参数(摘要)
• 型号:nAPG200‑XMPS‑RS232‑4VCR‑DB9
• 料号:D1G3165200
• 传感器:皮拉尼(钨铼灯丝,XMPS)
• 测量范围:大气压~5×10⁻⁴ mbar
• 通讯:RS232,DB9(9针D‑Sub)
• 真空接口:4VCR 金属密封
• 供电:15–48V DC
• 烘烤温度:传感器端 150°C(电子部分移除)
• 触点:*高 48V DC / 500mA
• 防护:IP40
• 材质:接液部 304/316 不锈钢、玻璃、镍合金
应用范围
半导体、真空镀膜、分析仪器、科研实验室、制药、高真空/洁净真空系统等需要金属密封+数字通讯的粗/中真空测量场景
