产品详情
简单介绍:
一款一体化宽量程真空测量设备,集成皮拉尼与冷阴极(反磁控)复合传感,单端口覆盖大气压至10⁻⁹ mbar全区间真空测量。结构紧凑、自带驱动,可独立工作或接入系统控制,适配工业与科研高真空场景。
详情介绍:
主要作用
• 真空系统全量程压力连续监测(粗/中/高真空)
• 腔体快速抽空过程压力监控与终点判断
• 高真空设备制程压力控制与记录
• 半导体、热处理、镀膜等工艺环境真空度验证
• 科研仪器真空环境精密测量与状态指示
技术参数(摘要)
• 料号:D3G0021100
• 接口:NW25(DN25 ISO‑KF)
• 传感器:皮拉尼 + 冷阴极反磁控
• 测量范围:1×10³~1×10⁻⁹ mbar
• 精度:50~1×10⁻² mbar:±15%;1×10⁻²~1×10⁻⁸ mbar:±30%
• 供电:15–48V DC
• 材质:接液部
