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  • 产品名称:ATH2300MT/ATH2303M磁悬浮分子泵保养维修

  • 产品型号:
  • 产品厂商:真空泵维修
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详情介绍:
技术参数 ATH 2300 MT ATH 2303 M
氢气抽速 1100 l/s 1100 l/s
氦气抽速 1650 - 1800 l/s 1650 - 1800 l/s
氩气抽速 1450 - 2000 l/s 1450 - 2000 l/s
氮气抽速 1550 - 2150 l/s 1550 - 2150 l/s
氢气压缩比(ISO 5302) > 2 · 10³ l/s > 1 · 10³ l/s
氦气压缩比(ISO 5302) > 3 · 10⁴ l/s > 3 · 10⁴ l/s
氩气压缩比(ISO 5302) > 1 · 10⁸ l/s > 1 · 10⁸ l/s
氮气压缩比(ISO 5302) > 1 · 10⁸ l/s > 1 · 10⁸ l/s
极限压力 < 6 · 10⁻⁹ mbar < 6 · 10⁻⁹ mbar
*大前级真空(氢气) 0.75 mbar 0.75 mbar
*大前级真空(氦气) 2 mbar 2 mbar
*大前级真空(氩气) 3.5 mbar 3.5 mbar
*大前级真空(氮气) 2.8 mbar 2.9 mbar
*大进气真空(氩气) 0.006 mbar 0.025 mbar
*大进气真空(氮气) 0.015 mbar 0.25 mbar
*终转速下的氢气气体流量 > 1000 sccm > 4000 sccm
*终转速下的氦气气体流量 > 1000 sccm > 4000 sccm
*终转速下的氩气气体流量 500 sccm 1500 sccm
*终转速下的氮气气体流量 1000 sccm 4000 sccm
建议吹扫流量 50 sccm 50 sccm
转速 31000 rpm 31000 rpm
可调转速 15000 rmp 至标称转速 15000 rmp 至标称转速
从开始启动到达到*终转速的 90% 所需要的时间,排放压力 < 0.1 mbar < 8 *小 < 8 *小
调节器电源 200-240 V,50/60 Hz 单相 200-240 V,50/60 Hz 单相
启动时的*大功耗 1000 W 1000 W
额定功率(待机功率) 130 - 380 W 130 - 380 W
*高加热温度 75 °C
*高烘烤温度 120 °C 120 °C
推荐冷却水流量 60 l/h 60 l/h
冷却水温度 15 - 40 °C 15 - 40 °C
遥控器类型 Magpower Magpower
推荐前级泵 ADP/ADS ADP/ADS
声压级(ISO 2151)(在额定转速下,距离设备 1 米处测量) < 47 dB(A) < 47 dB(A)
额定转速下的振动水平 < 0.01 μm < 0.01 μm
尺寸(Ø x H) 312 x 354.1-398.1* mm 312 x 354.1-398.1* mm
尺寸(Ø) 310 mm 312 mm
重量(约) 60 kg 60 kg
调节器重量(约) 8.7 kg 8.7 kg
进气口 DN 200、DN 250 DN 200、DN 250
排气口 DN 40 ISO-KF DN 40 ISO-KF
N₂ 吹扫法兰 DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF
不锈钢进气滤网(出厂设定)
允许的磁场强度(径向值)(在距离设备 10 厘米处) < 12 mT < 12 mT
机载控制器控制选项 Profibus,远程 Profibus,远程

沪公网安备 31011702004244号