产品详情
简单介绍:
Edwards STPA2203C 是为半导体应用而设计的涡轮分子泵。它使用的转子,可实现的性能,大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间,而且采用直流驱动,无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用,并得到了。
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