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简单介绍：
小巧而的 Edwards STPA1603C 涡轮分子泵采用 Edwards 的转子进行设计。它提供极高的吞吐量、高的性和的性能，满足半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，而其的沉积减少系统提高了性和性能。STPA1603C 已经在新的 200 mm 刻蚀工具上得到了证明，也能够满足 300 mm 氧化物腐蚀制程的需要。
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