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产品名称:STPA803C 真空涡轮分子泵
产品型号:STPA803C
产品厂商:涡轮分子泵及分子泵机组
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简单介绍:
Edwards STPA803C 涡轮分子泵是为半导体应用而设计的。Edwards 的转子可实现的性能和大的制程灵活性。STPA803C 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了。
详情介绍:
概述
Edwards STPA803C 涡轮分子泵是为半导体应用而设计的。Edwards 的转子可实现的性能和大的制程灵活性。STPA803C 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了。
应用
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源,射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理:射束线、加速器
放射线应用:融合系统、回旋
功能和优势
的转子
大的制程灵活性
无油
低振动
高度
免维护
可用于严苛制程
使用寿命延长
的控制器设计
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
紧凑型设计
占地面积小
半机架控制器
技術データ
入口法兰
ISO160F
KF40
吹扫口
KF10
水冷却接头
PT1/4
抽速
N
2
800 ls
-1
H
2
520 ls
-1
压缩比
N
2
>10
8
H
2
10
3
加热时的极限压力
10
-7
Pa (10
-9
Torr)
大连续压力
270 Pa (2 Torr)
大氮气吞吐量
1500 sccm
额定速度
32500 rpm
启动时间
7 分钟
高入口法兰温度
120 °C
输入电压
200 至 240 (± 10) V 交流
功耗
0.85 kVA
泵重量
39 kg
控制器重量
9 kg
沪公网安备 31011702004244号