产品详情
简单介绍:
Edwards 的防腐蚀 STP-L301(C) 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子可实现的性能,大的制程灵活性。
STP-L301(C) 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了。
详情介绍:
技術データ
入口法兰 | ISO100,CF100 |
KF25 | |
吹扫口 | KF10 |
抽速 |
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N2 | 260 ls-1 |
H2 | 290 ls-1 |
压缩比 |
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N2 | >108 |
He | 5 x 105 |
H2 | 2 x 104 |
加热时的极限压力(VG/ISO 法兰) | 6.5 x 10-6 Pa |
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(5 x 10-8 Torr) |
加热时的极限压力(ICF 法兰) | 10-8 Pa |
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(10-10 Torr) |
大允许进气口压力(环境空气冷却) | 6.7 x 10-2 Pa |
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(5 x 10-4 Torr) |
大连续压力(环境空气冷却) | 13 Pa |
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(0.1 Torr) |
额定速度 | 48000 rpm |
启动时间 | 3 min |
高入口法兰温度 | 120 °C |
输入电压 | 100 至 120 (± 10) V 交流或 |
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200 至 240 (± 10) V 交流 |
启动时的功耗 | 0.55 kVA |
泵重量 | 13 kg |
控制器重量 | 7 kg |