产品详情
简单介绍：
Edwards STP-iXA4506 系列磁悬浮涡轮分子泵 (TMP) 使用的，为如今具有挑战性的应用提供业内的性能、更好的气流能力和高温管理。
详情介绍：
製品概要
Edwards STP-iXA4506 系列磁悬浮涡轮分子泵 (TMP) 使用的，为如今具有挑战性的应用提供业内的性能、更好的气流能力和高温管理。
用途
- 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
- 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
- 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 溅射
- 离子注入源，射束线泵送和站
特性与优势
-
- 由于采用全集成控制器和电源，不需要电缆和单独的
- 控制器安装卡槽，从而使 TMP 组件具有成本效益且结构紧凑，能够快速简单地安装在狭小的空间。
- 大连续流量达 4300 sccm (N2)，与 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
- 使用高 35 °C 的冷却水供应时，泵能够高效运转。
- 提供了温度管理系统 (TMS) 装置，用于处理在过程中产生的副产品。
- I/O 远程、RS232C、RS485、STP-Link 是标配端口。
- UL 标记，CE 标记，符合 SEMI-S2 和 RoHS 标准。
数据
| 法兰 |
|
KF40 |
| 抽取速度 |
|
|
| N2/H2 | 升/秒 |
|
| VG300 |
|
3800/2700 |
| ISO320F |
|
4000/2700 |
| VG350 |
|
4300/2700 |
| VG400 |
|
4300/2700 |
| 压缩比 N2/H2 |
|
>108 / 103 |
| 极限压力 | Pa (Torr) | 10-7(10-9) |
| 允许的前级压力 | Pa (Torr) | 266(2) |
| 大气体流速 N2 1 |
|
4300 |
| （仅水冷却） | (Pa m3/sec) | (7.26) |
| 大气体流速 Ar 1 |
|
2600 |
| （仅水冷却） | (Pa m3/sec) | (4.39) |
| 额定速度 | rpm | 24,240 |
| 启动时间 | 分钟 | 11 |
| 固定位置 |
|
任何方向 |
| 输入电压 | V | 200-240 |
| 大输入功率 |
|
|
| 不带 TMS | VA | 1700 |
| 带 TMS | VA | 2200 |
| 重量 | kg |
|
| VG300 |
|
109 |
| ISO320F |
|
111 |
| VG350 |
|
104 |
| VG400 |
|
111 |
