产品详情
简单介绍：
STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STPiXA3305 系列的新）。
该泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一集成的产品易于安装且占地面积小，可作为应用工具的一体化解决方案。
详情介绍：
製品概要
STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STPiXA3305 系列的新）。
该泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一集成的产品易于安装且占地面积小，可作为应用工具的一体化解决方案。
该泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一集成的产品易于安装且占地面积小，可作为应用工具的一体化解决方案。
用途
- 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
- 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
- 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 溅射
- 离子注入源，射束线泵送和站
特性与优势
- 紧凑型设计，包括集成的控制器
- 性自传感磁力轴承系统
- 数字化 5 轴控制
- 与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
- 可以配置为运行腐蚀性制程
数据
| 入口法兰尺寸 | ISO250F / VG250 / ICF305 |
| 前级抽气口尺寸 | KF40 |
| 抽速 N2 | 2650 ls-1 |
| 抽速 Ar | 2300 ls-1 |
| 压缩比 N2/H2 | >108 / 2 x 103 |
| 极限压力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
| 允许的前级压力 | 266 Pa (2 Torr) |
| 大气流 N2 （仅水冷） | 4000 sccm |
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(6.76 Pam3s-1) |
| 大气流 Ar （仅水冷） | 2100 sccm |
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(3.55 Pam3s-1) |
| 额定速度 | 27700 rpm |
| 启动时间 | <10 分钟 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 输入电压 | 200-240 V |
| 大输入功率（不带 TMS） | 1500 VA |
| 大输入功率（带 TMS） | 1800 VA |
| 重量 | 80 kg |
大气流适用于在 25 ºC 以下的水冷却温度下连续泵送 N2 或 Ar 气体，并且使用前级泵（10,000 l/min 尺寸）的情况。 它会随条件变化而变化。
