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  • 产品名称:30B5M Edwards油蒸汽增压泵

  • 产品型号:30B5M
  • 产品厂商:油蒸汽扩散泵
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简单介绍:
Edwards 30B5M 蒸汽增压泵以介于机械增压器与扩散泵之间的压力提供高达 15000 ls-1 的更高泵速。Edwards 的蒸汽增压泵已在本经历了 30 多年的实践检验。通过持续的更新和化计划并汲取 OEM 和终用户的意见,加之其固有的性、易用性和对不同进气口压力和排气压力的适应能力,这些增压泵应用于冶金和镀膜行业及其他。
详情介绍:

概述

Edwards 30B5M 蒸汽增压泵以介于机械增压器与扩散泵之间的压力提供高达
15000 ls-1 的更高泵速。Edwards 的蒸汽增压泵已在本经历了 30 多年的实践检验。通过持续的更新和化计划并汲取 OEM 和终用户的意见,加之其固有的性、易用性和对不同进气口压力和排气压力的适应能力,这些增压泵应用于冶金和镀膜行业及其他。

蒸汽增压泵的运行方式与蒸汽扩散泵的运行方式类似,但除了具有环形喷射器外,它们还具有一个喷射器级,大大提高了泵的吞吐量。这些泵的极限压力大约为 10-4 至 10-5 mbar 范围内,高于此压力时,泵对于气体表现出极高的抽速。由于临界前级压力较高,可使用相对较小的机械前级泵。这些泵可在 10-1 to 10-4 mbar 范围内使用,在此范围内,旋转泵会达到其极限,普通扩散泵则表现不稳定。
这些泵大多用于抽送受污染的系统和高负荷量的氢气,从而适合在冶金和化学制程中应用。

应用

  • 真空冶金
  • 蒸馏、干燥和脱气
  • 薄膜覆层和喷镀
  • 大型研究活动

功能和优势

  • 高工作压力下实现极高抽速
  • 工作压力下实现极高吞吐量
  • 快速转换实现出色的抽气速度
  • 已经过 40 多年行业实践检验,并仍然不断改进以满足 OEM 和终用户的要求
  • 出色的性
  • 现在可以从两端进入锅炉,清洁方便

数据

抽取速度(空气) 12500 ls-1
抽取速度(氢气) 15000 ls-1
大处理能力 300 mbar ls-1

225 Torr ls-1
临界前级压力 5.3-6 mbar
(带 AP201 液) 4-4.5 Torr
后备泵容积 290 m3h-1

171 ft3min-1
的后备泵† GXS450、E2M275
的液体 Apiezon® AP201
液体充填 55 升/52 qt
入口连接 686.0 PCD 上的 12 个 20.60 孔
前级连接 235.0 PCD 上的 4 个 16.70 孔
水接头 1 英寸 BSP
加热器功率 22.5kW/30hp
大加热器输入时,达到性能
所需的预热时间 60 min
水流入口 25⁰C 时 1950l/h/25⁰ C 时 8.5 US gal min-1
重量 620 kg/1367 lbs

† 提供这些数据仅供参考,请联系 Edwards 获得适合您的应用的泵组合建议。

沪公网安备 31011702004244号