产品详情
简单介绍：
HT 高吞吐量系列是我们扩散泵产品中的产品，采用针对工业级用户的制造。
Edwards HT20B（ANSI20/ISO630 进气口）扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。构造坚固，即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能，不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性，可以制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量（压力乘以抽速），适合涉及大量气体的工业制程。
详情介绍：
概述
HT 高吞吐量系列是我们扩散泵产品中的产品，采用针对工业级用户的制造。
Edwards HT20B（ANSI20/ISO630 进气口）扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。构造坚固，即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能，不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性，可以制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量（压力乘以抽速），适合涉及大量气体的工业制程。
Edwards HT20B（ANSI20/ISO630 进气口）扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。构造坚固，即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能，不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性，可以制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量（压力乘以抽速），适合涉及大量气体的工业制程。
应用
-
真空冶金
-
蒸馏、干燥和脱气
-
薄膜覆层和喷镀
-
大型研究活动
功能和优势
- 与同等尺寸的泵相比，吞吐量高
- 与同等尺寸的泵相比，转换压力快
- 的大前级压力和对气体激增的耐受性
- 与同等尺寸的泵相比，具有无可比拟的抽速
- 集成的冷却帽，可实现佳性能和极低的回流
- 针对低压的自行分馏
- 易于更换的加热器组件
数据
| 相对抽速 | 18000 ls-1 |
| ISO 抽速† |
|
| 氮气 | 8000 ls-1 |
| 氦气 | 16000 ls-1 |
| 大吞吐量（氮气） | 24 mbar ls-1 |
|
|
18 Torr ls-1 |
| 临界前级压力 (DC704EU) | 1.3 mbar/ |
|
|
1 Torr |
| 大吞吐量时的前级泵排量 | 135 m3h-1 |
|
|
80 ft3min-1 |
| 的前级泵‡ | GXS250、E2M175 |
| 的液体 | DC704EU |
| 液体充填量（干） | 3600 ml / 3.8 qt |
| 进气口/前级连接 | ANSI20/ANSI4 或 |
|
|
ISO630/ISO160 |
| 水接头 | 3/4 英寸 NPT 母头 |
| 加热器功率 | 12.6 kW/16.9 hp |
| 预热时间 | 60 min |
| 冷却水流量（25 °C 时） | 960 l h-1 / 4.2 US gal min-1 |
| 冷却水供给源两端的压力降 | 1.2 bar / 17.4 psi |
| 重量 | 275 kg / 605 lbs |
† 通过总压力测量获得的 ISO 速度和吞吐量数据。部分压力读数通常使数据增加 ~30%。对于同一个泵，ISO 速度测量通常比 AVS 测量小 10%。
‡ 提供这些数据仅供参考，请联系 Edwards 获得适合您的应用的泵组合建议。
