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  • 产品名称:HT-10 爱德华大排气量油蒸汽扩散泵

  • 产品型号:HT-10
  • 产品厂商:油蒸汽扩散泵
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简单介绍:
HT 高吞吐量系列是我们扩散泵产品中的产品,采用针对工业级用户的制造。 Edwards HT10(ANSI10/ISO320 进气口)扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。构造坚固,即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能,不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性,可以制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量(压力乘以抽速),适合涉及大量气体的工业制程。
详情介绍:

概述

HT 高吞吐量系列是我们扩散泵产品中的产品,采用针对工业级用户的制造。
  
Edwards HT10(ANSI10/ISO320 进气口)扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。构造坚固,即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能,不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性,可以制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量(压力乘以抽速),适合涉及大量气体的工业制程。

应用

  • 真空冶金
  • 蒸馏、干燥和脱气
  • 薄膜覆层和喷镀
  • 大型研究活动

功能和优势

  • 与同等尺寸的泵相比,吞吐量高

  • 与同等尺寸的泵相比,转换压力快

  • 的大前级压力和对气体激增的耐受性

  • 与同等尺寸的泵相比,具有无可比拟的抽速

  • 集成的冷却帽,可实现佳性能和极低的回流

  • 针对低压的自行分馏

  • 易于更换的加热器组件

数据

相对抽速 4650 ls-1
ISO 抽速†
氮气 3000 ls-1
氦气 4650 ls-1
AVS 泵送
氮气 3330 ls-1
氦气 5165 ls-1
大吞吐量(氮气) 10 mbar ls-1

7.5 Torr ls-1
临界前级压力 (DC704EU) 1.1 mbar

0.8 Torr
大吞吐量的对应前级泵排量 60 m3h-1

35 ft3min-1
的前级泵‡ GV80,E2M80
的液体 DC704EU
液体充填量(干) 1250 ml

1.3 qt
进气口/前级连接 ANSI10/ANSI12 或 EO12 inch/EO130 mm 或 ISO320/ISO63
水接头 3/8 英寸 NPT 母头
加热器功率 5.1 kW

6.8 hp
预热时间 30 分钟
冷却水流量(25 °C 时) 400 l h-1

1.8 US gal min-1
冷却水供给源两端的压力降 1 bar

14.5 psi
重量 80 kg

176 lbs

† 通过总压力测量获得的 ISO 速度和吞吐量数据。部分压力读数通常使数据增加 ~30%。对于同一个泵,ISO 速度测量通常比 AVS 测量小 10%。
‡ 提供这些数据仅供参考,请联系 Edwards 获得适合您的应用的泵组合建议。

沪公网安备 31011702004244号