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iXH系列半导体干式泵
日期：2026-08-22 01:43
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摘要：
iXH 干式泵系列在严苛工艺环境下的工作能力、可靠性和更低的拥有成本方面树立了新标杆。
宽广的温度范围使您可以对真空设备进行优化，更大地减少冷凝和电镀的副产物累积
iXH Mk2 干式泵可在严苛的工艺中提供更长的使用寿命，并且可以显著提高功效
**的密封技术可以延长制程寿命并降低泄漏风险
采用 XCEDE 技术，增强了耐腐蚀性。
iXH 干式泵系列在严苛工艺环境下的工作能力、可靠性和更低的拥有成本方面树立了新标杆。
- 宽广的温度范围使您可以对真空设备进行优化，更大地减少冷凝和电镀的副产物累积
- iXH Mk2 干式泵可在严苛的工艺中提供更长的使用寿命，并且可以显著提高功效
- **的密封技术可以延长制程寿命并降低泄漏风险
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采用 XCEDE 技术，增强了耐腐蚀性。
