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真空技术在薄膜涂层中的作用
日期：2025-09-27 05:52
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摘要：
真空技术对于这些工艺至关重要，因为这些材料的蒸汽需要不受阻碍且无杂质地流入低压环境并流到基板上，或者仅仅是为了实现等离子体的工艺条件。因此，生成真空大气和监测压力对于这些工艺至关重要。
EDWARDS 多年来一直处于薄膜行业的前沿，不断开发各种真空解决方案 - 初级真空泵系统、二级真空泵、 真空计 、残 余气体 分析仪 - 以满足各种涂层工艺的严格要求。无论是管理玻璃和太阳能镀膜工艺所要求的快速泵送周期，还是管理 ALD 或 LPE 应用中的恶劣工艺，我们都有优化的真空解决方案来满足您的要求。
真空技术对于这些工艺至关重要，因为这些材料的蒸汽需要不受阻碍且无杂质地流入低压环境并流到基板上，或者仅仅是为了实现等离子体的工艺条件。因此，生成真空大气和监测压力对于这些工艺至关重要。
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