新闻详情
Leybold干式真空泵工作原理及应用介绍
日期：2025-04-29 16:20
浏览次数：0
摘要：
Leybold干式真空泵工作原理及应用介绍
Leybold干式真空泵是一种在抽气过程中无需使用油或其他液体作为工作介质的真空泵，其工作腔内完全干燥，因此能避免油蒸气污染，特别适用于对洁净度要求高的工艺环境。以下是关于干式真空泵的详细介绍：
工作原理
Leybold干式真空泵通过机械运动（如旋转、往复等）直接压缩和排出气体，无需液体密封或润滑。常见的工作原理包括：
容积式原理：通过腔体容积的变化吸入、压缩和排出气体（如螺杆式、爪式、涡旋式等）。
多级压缩：多级泵串联，逐级提高真空度。
Leybold干式真空泵应用领域
半导体/LED：晶圆加工、刻蚀、离子注入。
光伏：薄膜太阳能电池生产。
化工/制药：溶剂回收、干燥、蒸馏。
科研：同步辐射、电子显微镜。
食品包装：无油污染要求的真空封装。
