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简述干式真空泵的工作原理
日期：2024-05-03 06:19
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摘要：
干式真空泵是一种不需要润滑油的机械泵，它利用机械运动将气体转移至高真空的设备中，其主要工作原理包括压缩和排放两个步骤。
在压缩阶段，空气经过进口被进入泵壳中，在机械运动的作用下被压缩并进入流道。流道被设计成从水平方向转向垂直方向，因此在气体通过流道时会产生离心力，使气体沿着流道壁运动并被压缩。这时空气已经被转移至泵的出口并进入排放阶段。
在排放阶段，气体穿过泵的出口并进入放大器，放大器会将气体加速并将其释放到出口处。放大器主要由喇叭形管道和几个叶轮组成。当气体通过喇叭形管道时，其速度会增加并在叶轮的帮助下增加其压缩程度。*终，排放出的气体将被轻松地转移至所需要的设备中。
由于干式真空泵不需要使用润滑油，因此它非常适用于那些需要高度洁净的应用领域，例如半导体生产和表面等离子体处理。此外，干式真空泵还具有高效、耐用和易于维护的特点，广泛应用于各种高真空应用领域。
