产品详情
简单介绍：
本款为爱德华APG200系列有源皮拉尼真空计，QMPS配置标准传感灯丝搭配前置过滤结构，阻隔粉尘杂质，适配常规中性工艺气体工况；真空端采用1/8" NPT标准外螺纹接口，适配通用螺纹管路，拆装便捷；电气端配备DB9九针D-Sub接口，CAL代表出厂完成原厂标准校准并附带校准证书，测量数据具备溯源性。整机集成传感与驱动电路，无需外置驱动模块，测量区间覆盖常压至5×10⁻⁴ mbar粗、中真空，机身紧凑小巧，可对接TIC/ADC系列真空控制器、PLC工控系统，完成压力监测、阈值联锁与工艺管控。
详情介绍：
产品作用
1. 常规螺纹管路、工艺腔体实时压力采集，输出0-10V稳定模拟线性信号，支撑工艺参数稳定管控
2. 中性气体工况下腔体抽空终点判定、保压检漏，核验腔体密封状态
3. 设定压力阈值报警、联动泵阀完成联锁保护，降低系统异常运行风险
4. 半导体、光学镀膜、科研实验装置制程数据留存记录，满足工艺追溯与体系质检要求
5. 实验室定期点检、精度比对校准，适配需要计量溯源的设备集成使用
适用场景
半导体制程配套设备、光学真空镀膜设备、中小型热处理真空炉、高校科研精密实验腔体、分析仪器螺纹管路、制药常规真空制程，以及采用1/8" NPT螺纹、DB9接线且需校准溯源的粗中真空监测场景
