产品详情
简单介绍：
本款为爱德华APG200系列有源皮拉尼真空计，XMPS采用钨铼标准灯丝+前置过滤结构+两路设定点继电器，适配常规中性工艺气体环境；真空接口为8VCR全金属密封接头，密封可靠、可反复拆装，适配高纯洁净管路；整机集成传感与驱动电路，无需外置驱动模块，测量区间覆盖常压至5×10⁻⁴ mbar粗、中真空，机身相较前代体积缩减约25%，配备RJ45电气接口，可对接TIC/ADC系列真空控制器、PLC工控系统完成压力监测、阈值联锁与工艺管控，无配套原厂校准证书。
详情介绍：
产品作用
1. 洁净真空管路、工艺腔体实时压力采集，输出稳定0-10V模拟信号，支撑工艺参数稳定管控
2. 常规气体工况下腔体抽空终点判定、保压检漏，核验腔体密封性能
3. 设定压力阈值报警、联动泵阀完成联锁保护，降低系统异常运行风险
4. 半导体、光学镀膜、科研装置制程数据留存记录，满足工艺追溯需求
5. 实验室日常点检、设备配套监测，适配洁净真空机组集成使用
适用场景
半导体制程洁净管路、光学真空镀膜设备、中小型热处理真空炉、高校科研精密实验腔体、分析仪器高纯管路、制药常规真空制程，以及采用8VCR金属密封管路的粗中真空监测场景
