产品详情
简单介绍:
本款为爱德华APG200系列有源皮拉尼真空计,OMPS配置适配工况的传感灯丝结构并集成前置过滤,适配常规中性工艺气体环境;采用Bare tube裸传感管设计,无预制法兰、螺纹、VCR等标准接头,可按设备管路需求现场焊接适配非标腔体与改造机组;CAL代表出厂完成原厂标准校准并附带校准证书,测量数据具备溯源性。整机集成传感与驱动电路,无需外置驱动设备,测量区间覆盖常压至5×10⁻⁴ mbar粗、中真空,机身紧凑,可对接主流真空控制器、PLC工控系统完成压力监测、阈值联锁与工艺管控。
详情介绍:
产品作用
1. 非标焊接管路、定制实验腔体、改造真空机组的实时压力采集,输出稳定信号支撑工艺参数管控
2. 常规气体工况下腔体抽空终点判定、保压检漏,核验腔体密封性能
3. 设定压力阈值报警、联动泵阀完成联锁保护,降低系统异常运行风险
4. 科研装置、分析仪器制程数据留存记录,满足工艺追溯与质量管控要求
5. 实验室定期点检、设备精度比对校准,适配产线质检、实验室合规使用需求
适用场景
通用真空镀膜设备、中小型热处理真空炉、高校科研定制实验腔体、分析仪器非标焊接管路、真空设备改造机组、制药常规真空制程,以及各类无强腐蚀气体、需现场焊接管路且需要计量溯源校准的粗中真空监测场景
