产品详情
简单介绍：
nEXT T-Station 85 Dry 涡轮分子泵- 高性能干式真空系统 （型号：TS85M3003）专为需要无油、高真空环境的工业及科研应用设计。该泵站集成高效涡轮分子泵与智能控制系统，适用于 半导体制造、分析仪器、真空镀膜及科研实验等领域。
详情介绍：
核心优势：
✔ 干式真空技术 – 无油污染，确保洁净真空环境，适合敏感应用
✔ 宽电压兼容 – 支持 230V 单相交流电（50/60Hz），全球适用
✔ 高抽速 & 稳定性能 – DN63 CF法兰接口，优化气流路径，提高效率
✔ 紧凑集成设计 – 一体化泵站，减少安装复杂度，即插即用
技术：
✔ 干式真空技术 – 无油污染，确保洁净真空环境，适合敏感应用
✔ 宽电压兼容 – 支持 230V 单相交流电（50/60Hz），全球适用
✔ 高抽速 & 稳定性能 – DN63 CF法兰接口，优化气流路径，提高效率
✔ 紧凑集成设计 – 一体化泵站，减少安装复杂度，即插即用
技术：
电源输入：1Ph 230V AC, 50/60Hz
法兰标准：DN63 CF (4.5")
适用真空范围：高真空（HV）至超高真空（UHV）
典型极限真空：< 5×10⁻⁸ mbar（取决于系统配置）
典型应用：
半导体 & 电子行业：晶圆加工、真空镀膜
科研仪器：质谱仪、电子显微镜、同步辐射装置
工业真空系统：真空炉、检漏设备、光学镀膜
参数：
系列产品：
