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  • 产品名称:EPX180N 半导体干式真空泵

  • 产品型号:EPX180N
  • 产品厂商:半导体干泵
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简单介绍:
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX180 使用了独特的砖利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供**的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
详情介绍:

概述

新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX180 使用了独特的砖利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供**的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

应用

  • 负载锁
  • 传输腔
  • PVD 溅射
  • 灰化/PR 剥离
  • 电介质刻蚀
EPX 系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“N”系列包括一个可提供氮清洗的气体模块,从而可将应用范围扩大为中等制程,在这类制程中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。

功能和优势

  • 紧凑的占地面积 – 作为可用的**工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
  • 低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可*大化功率效率。
  • 独特的砖利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。
  • 超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
  • 非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,*大程度地延长了泵的使用寿命。
  • 可兼容的网络 - EPX 系列配有*终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制

技术数据

峰值速度 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
极限真空

<1 x 10-4 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
预热时间(达到标称性能) 30 分钟
入口法兰 ISO63
出口法兰 NW25
噪音 <59 dB(A)
水接头 3/8 in 快速
**冷却水流速 2 lmin-1
冷却水温度 15 – 35°C
氮气供给接口 1/4 in (6.5 mm) 管
氮气供给压力 3 x 105 – 7 x 105 Pa
*低氮纯度 99.95%
电源供给 200/208 V,50/60 Hz 三相
极限功率 1.4 kW
电机额定功率 3.0 kW
TIM C3
重量 43.5 kg

沪公网安备 31011702004244号