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  • 产品名称:EPX180L 半导体干式真空泵

  • 产品型号:EPX180L
  • 产品厂商:半导体干泵
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简单介绍:
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX180 使用了独特的砖利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供**的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
详情介绍:

概述

新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX180 使用了独特的砖利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供**的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

技术

EPX 泵系统在大气压和极限真空之间的压力下工作,增压室内无润滑或密封液。这样可以确保泵送系统清洁,不会因为系统的排空而使油或液体回流到系统中。
泵的定子和封闭马达通过集成化水冷回路进行冷却。因此,EPX 泵适合在不允许使用风扇的洁净室环境下使用。冷却水供应和回水管通过水接头(由客户指定)连接到泵。冷却水的提供必须与环境条件(湿度和温度)相当,以便不会达到结露点。
泵装有一个 EMC 供应过滤器和一个变换器驱动,该驱动可提供和控制泵马达的电源。前盖上的 LED 标识 EPX 泵的状态。马达速度取决于泵入口处的压力。当泵在入口压力处于或接近大气压的情况下启动时,马达会加速到某个速度,该速度受可以由变换器驱动提供的电流限制。随着入口处的压力降低,马达速度会加快,直至该速度*终达到其预定的*大速度。如果入口处的压力增大,则马达速度会再次减慢。
EPX L 系列的泵不能进行手动操作;这些泵必须通过外部控制设备进行控制和监视,而控制设备必须通过工具接口模块 (TIM) 连接到 EPX 泵。
EPX 泵由四个振动隔离器进行支持。
泵保护传感器可在出现故障状态时自动关闭泵。

应用

  • EPX 系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。
    EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

功能和优势

  • 紧凑的占地面积 – 作为可用的**工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
  • 低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可*大化功率效率。
  • 独特的砖利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。
  • 超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
  • 非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,*大程度地延长了泵的使用寿命。
  • 可兼容的网络 - EPX 系列配有*终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。

技术数据

峰值速度 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
极限真空

<1 x 104 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
预热时间(达到标称性能) 30 分钟
入口法兰 ISO63
出口法兰 NW25
噪音 <59 dB(A)
水接头 3/8 in 快速
**冷却水流速 2 lm-1
冷却水温度 15 – 35°C
电源供给 200/208 V,50/60 Hz 三相
极限功率 1.4 kW
电机额定功率 3.0 kW
TIM C3
重量 43.5 kg

沪公网安备 31011702004244号