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  • 产品名称:iH1800 半导体干式真空泵

  • 产品型号:iH1800
  • 产品厂商:干式爪型真空泵
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简单介绍:
Edwards 上等半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照*高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时*大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。 iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
详情介绍:

概述

Edwards 上等半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照*高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时*大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
  
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

应用

  • 负载锁
  • 输送
  • 计量
  • 平版印刷
  • PVD 制程
  • PVD 预清洁
  • RTA
  • 剥离/灰化
  • 刻蚀
  • 植入源
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD

有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议,请与 Edwards 联系。

功能和优势

  • 优化了设施消耗。
  • 无需预防性维护。
  • 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
  • 在节省电机功率的同时*大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
  • 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
  • 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的**保证。
  • 整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
极限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO160
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
极限功率输入 4.1 kW
电机额定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l

  
所有数字均为无气镇时的典型值。

沪公网安备 31011702004244号