产品详情
简单介绍：
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
详情介绍：
数据
| 峰值速度 | 600 m3h-1 |
| 353 cfm | |
| 10000 l min-1 | |
| 极限真空 | 7 x 10-4 mbar |
| 5.3 x 10-4 Torr | |
| 0.07 Pa | |
| 典型轴封氮流量 | 4 slm |
| 进气口连接 | ISO100 |
| 连接 | NW40 |
| 15 psi 压降下典型冷却水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 415 kg |
| 极限功率输入 | 3.4 kW |
| 电机额定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.43 l |
数字均为无气镇时的典型值。
