产品详情
简单介绍：
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
详情介绍：
数据
| 峰值速度 | 165 m3h-1 |
| 97 cfm | |
| 2750 l min-1 | |
| 极限真空 | 1 x 10-2 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr | |
| 1 Pa | |
| 典型轴封氮流量 | 4 slm |
| 进气口连接 | ISO63 |
| 连接 | NW40 |
| 15 psi 压降下典型冷却水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 | |
| 重量 | 244 kg |
| 极限功率输入 | 3.1 kW |
| 电机额定功率 | 5.0 kW |
| 油容量 | 0.85 l |
数字均为无气镇时的典型值。
