产品详情
简单介绍:
Edwards STP451 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子可实现的性能,大的制程灵活性。STP451 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了。
详情介绍:
技術データ
入口法兰 | ISO160 |
KF25 | |
抽取速度 |
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N2 | 440 l s-1 |
H2 | 275 l s-1 |
压缩比 |
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N2 | >108 |
H2 | >2 x 104 |
极限压力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
大允许入口压力 |
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环境空气冷却 | 0.066 Pa (5 x 10-4 Torr) |
大连续压力 |
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环境空气冷却 | 13 Pa (0.1 Torr) |
额定速度 | 48000 rpm |
启动时间 | 3 min |
高入口法兰温度 | 120 °C |
输入电压 | 100 至 120 V 交流(± 10) 或 |
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200 至 240 V 交流(± 10) |
功耗 |
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启动 | 0.55 kVA |
重量 |
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泵 | 12 kg |
控制器 | 7 kg |