产品详情
简单介绍：
Edwards STP301 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子可实现的性能，大的制程灵活性。STP301 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了。
详情介绍：
技術データ
| 入口法兰 | ISO100，CF100 |
| KF25 | |
| 抽速 |
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| N2 | 300 ls-1 |
| H2 | 300 ls-1 |
| 压缩比 |
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| N2 | >108 |
| H2 | >2 x 104 |
| 加热时的极限压力（VG/ISO 法兰） | 6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr) |
| 加热时的极限压力（ICF 法兰） | 10-8 Pa (10-10 Torr) |
| 大允许进气口压力（环境空气冷却） | 0.066 Pa (5 x 10-4 Torr) |
| 大连续压力（环境空气冷却） | 13 Pa (0.1 Torr) |
| 额定速度 | 48000 rpm |
| 启动时间 | 3 min |
| 高入口法兰温度 | 120 °C |
| 输入电压 | 100 至 120 (± 10%) V 交流或 |
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200 至 240 (± 10%) V 交流 |
| 启动时的功耗 | 0.55 kVA |
| 泵重量 | 11 kg |
| 控制器重量 | 7 kg |
