产品详情
简单介绍:
STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STP-iXA2205 系列的新)。 该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度,也等于 STP-iXA2205 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。 这一集成的产品易于安装且占地面积小,可作为应用工具的一体化解决方案。
详情介绍:
製品概要
STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STP-iXA2205 系列的新)。 该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度,也等于 STP-iXA2205 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。 这一集成的产品易于安装且占地面积小,可作为应用工具的一体化解决方案。
用途
- 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
- 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
- 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 溅射
- 离子注入源,射束线泵送和站
特性与优势
- 紧凑型设计,包括集成的控制器
- 性自传感磁力轴承系统
- 数字化 5 轴控制
- 与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
- 可以配置为运行腐蚀性制程
数据
入口法兰尺寸 | ISO250F/VG250/ICF305 |
前级抽气口尺寸 | KF40 |
抽速 N2/Ar | 2200/1900 ls-1 |
压缩比 N2/H2 | >108 / 1 x 104 |
极限压力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
允许的前级压力 | 266 Pa (2 Torr) |
大气流 N2 (仅水冷) | 3000 sccm |
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(5.07 Pam3s-1) |
大气流 Ar (仅水冷) | 1400 sccm |
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(2.36 Pam3s-1) |
额定速度 | 27000 rpm |
运转到 90% 额定速度的时间 | <8 分钟 |
固定位置 | 任何方向 |
输入电压 | 200-240 V |
大输入功率(不带 TMS) | 1200 VA |
重量 | 62 kg |
大气流适用于在 15-25 °C 之间的水冷却温度下连续泵送 N2 或 Ar 气体,并且使用前级泵(10,000 l/min 大小)的情况。 它会随条件变化而变化。