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  • 产品名称:BGV 气动真空插板阀 NW50

  • 产品型号:B90003105
  • 产品厂商:真空管件、阀门
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简单介绍:
BGV 地下室插板阀是一系列由不锈钢制成,用波纹管密封的地下室隔离阀。它们是与 VAT 协作设计的,可以使泵在前级管线维护期间继续运行,从而使在严苛制程中运行的泵具有*高的可靠性和正常运行时间。BGV 阀适用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar(优良)(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作压力范围。这种阀在任何方向都可以承受 1.2 bar 的优良压力,并可承受阀
详情介绍:

概述

BGV 地下室插板阀是一系列由不锈钢制成,用波纹管密封的地下室隔离阀。它们是与 VAT 协作设计的,可以使泵在前级管线维护期间继续运行,从而使在严苛制程中运行的泵具有*高的可靠性和正常运行时间。BGV 阀适用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar(优良)(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作压力范围。这种阀在任何方向都可以承受 1.2 bar 的优良压力,并可承受阀密封两侧 1 bar 的差压。

虽然 BGV 阀主要用于隔离半导体工厂地下室内的泵,但这些阀也适用于开启时需要 1 bar 差压并容许 20000 次循环的其他应用场合。

功能和优势

  • 与世界密封技术** VAT 合作开发。
  • 不锈钢结构,采用获得砖利的可靠设计,使用寿命长
  • 简单的无油脂机构*大程度减少了多尘制程中因微粒导致的损坏
  • 可以在 1 bar 差压下运行,因此无需进行压力平衡
  • 维修方便,只需要廉价的易耗品,低运行成本
  • 表面光滑,易于清洁
  • 提供时已安装螺线管和电线,便于订购和安装
  • 即插即用,在使用可选的 BGV TIM 接口电缆的情况下与 Edwards 半导体干泵兼容。

技术数据

泄漏值
  壳体 < 1 x 10-9 mbar ls-1
  阀座 < 1 x 10-7 mbar ls-1
压力范围 1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara
插板上的压差 1.2 bar(在任一方向上)
打开时的压差 1 bar
**检修前的循环数 5, 000
*高工作温度
  阀体 120 °C
  手动执行器 80 °C
  气动执行器 80 °C
  位置指示器 60 °C
  螺线管阀 50 °C
分子流电导
  NW50 300 ls-1
  ISO63 400 ls-1
  ISO80 1100 ls-1
  ISO100 1700 ls-1
  ISO160 4600 ls-1
重量
  NW50 3.3 kg (7.3 lbs)
  ISO63 6.6 kg (14.6 lbs)
  ISO80 7.0 kg (15.4 lbs)
  ISO100 8.5 kg (18.7 lbs)
  ISO160 17.7 kg (39.0 lbs)
构造材料:
  壳体 AISI 304 不锈钢
  阀盖 黑色阳极化铝
  插板 AISI 304 不锈钢
  助滑器 PEEK
  波纹管 AISI 633 不锈钢
  密封件 氟橡胶
  插板固定螺钉 A2 不锈钢 Ni-teflon 镀膜
  手柄 强化聚酰胺
气动阀
螺线管阀额定值
  标准螺线管阀 24V - 15%/+ 10%,直流/交流,2.4 W
位置指示器触点额定值 12 - 30 V 直流/交流,*大 500 mA,*大 10 W
气动供气
  **供应压力 58 psig(4 bar 压力表压力,5 bar 优良压力,5 x 10Pa)
  *大供应压力 100 psig(7 bar 压力表压力,8 bar 优良压力,8 x 105 Pa)
气动接头 R1/8 英寸(阀的 1/8 英寸 NPT 在美国订购)

沪公网安备 31011702004244号