产品详情
  • 产品名称:SIPV40P,气动真空软启动阀,密封式波纹管,铝制阀体

  • 产品型号:SIPV40P
  • 产品厂商:真空管件、阀门
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简单介绍:
这类阀是软启动的气动操作管线阀,带有可更换的孔板,可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。 随动阀和主阀的组合使得初始泵送可以缓慢进行,以尽可能减少干扰。随动阀和主阀都需要单独的气动连接。
详情介绍:

概述

这类阀是软启动的气动操作管线阀,带有可更换的孔板,可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。

随动阀和主阀的组合使得初始泵送可以缓慢进行,以尽可能减少干扰。随动阀和主阀都需要单独的气动连接。

应用

  • 当随动阀打开时,气流以较低流速在阀的两侧间流过可更换孔板,实现慢抽速。达到用户指定的预定义压力级别后,主阀门会根据用户提供的信号打开,实现全通径泵送。
    波纹管密封的阀门单向执行,采用气动打开,弹簧封闭。产品随附三个可更换孔板,以使泵的性能符合您的制程需要。标准配置中包含一个微开关,用于指示阀门状态。阀门和微开关都可以加热到 100°C 以加速脱气,防止制程气体在阀门内冷凝。
    尽管阀门主要设计用于半导体行业,但也可以用在其他需要受控抽气的应用中。

功能和优势

  • 平均无故障时间可达 5000000 个循环
  • 抽气受控制以适合相关制程
  • 铝阀体
  • 在断电时阀可以快速反应
  • 供货时带有 5 mm、6 mm 和 7 mm 可更换孔板
  • 采用波纹管密封以保证清洁操作
  • 孔板可更换,维护方便
  • 可加热到 100 °C 以防制程气体冷凝

技术数据

阀门执行类型 单向执行,气动打开,弹簧关闭
压力范围 1 x 10-9 至 2100 mbar

8 x 10-10 至 1575 Torr
*大压力差
  打开 1000 mbar/750 Torr
  关闭 2100 mbar/1575 Torr
泄漏值 10-9 mbar ls- 1

10-10 Torr ls- 1
气动连接器 Rp 1/8(1/8 英寸 BSP)*
气动工作压力 2.8 至 4.2 bar/41 至 61 psi
电气指示器 单个微开关
微开关电气额定值 24 V,1.5 A 交流或直流
*大循环频率 900 h-1
波纹管可靠性,MTTF 5000000 循环
工作环境温度 5 - 100 °C
*高加热温度 100 °C
构造材料 HE30TF 铝
O 型圈 氟橡胶
4 bar 时的打开/关闭时间 (ms) SIPV40P
  随动阀 60/20
  主阀 50/155
重量 (g/oz)
  SIPV40P 1760 / 62

*  配有可选控制阀

沪公网安备 31011702004244号