产品详情
简单介绍：
这类阀是软启动的气动操作管线阀，带有可更换的孔板，可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。
随动阀和主阀的组合使得初始泵送可以缓慢进行，以尽可能减少干扰。随动阀和主阀都需要单独的气动连接。
详情介绍：
概述
这类阀是软启动的气动操作管线阀，带有可更换的孔板，可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。
随动阀和主阀的组合使得初始泵送可以缓慢进行，以尽可能减少干扰。随动阀和主阀都需要单独的气动连接。
应用
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当随动阀打开时，气流以较低流速在阀的两侧间流过可更换孔板，实现慢抽速。达到用户指定的预定义压力级别后，主阀门会根据用户提供的信号打开，实现全通径泵送。
波纹管密封的阀门单向执行，采用气动打开，弹簧封闭。产品随附三个可更换孔板，以使泵的性能符合您的制程需要。标准配置中包含一个微开关，用于指示阀门状态。阀门和微开关都可以加热到 100°C 以加速脱气，防止制程气体在阀门内冷凝。
尽管阀门主要设计用于半导体行业，但也可以用在其他需要受控抽气的应用中。
功能和优势
- 平均无故障时间可达 5000000 个循环
- 抽气受控制以适合相关制程
- 铝阀体
- 在断电时阀可以快速反应
- 供货时带有 5 mm、6 mm 和 7 mm 可更换孔板
- 采用波纹管密封以清洁操作
- 孔板可更换，维护方便
- 可加热到 100 °C 以防制程气体冷凝
数据
| 阀门执行类型 | 单向执行，气动打开，弹簧关闭 |
| 压力范围 | 1 x 10-9 至 2100 mbar |
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8 x 10-10 至 1575 Torr |
| 大压力差 |
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| 打开 | 1000 mbar/750 Torr |
| 关闭 | 2100 mbar/1575 Torr |
| 泄漏值 | 10-9 mbar ls- 1 |
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10-10 Torr ls- 1 |
| 气动连接器 | Rp 1/8（1/8 英寸 BSP） |
| 气动工作压力 | 2.8 至 4.2 bar/41 至 61 psi |
| 电气指示器 | 单个微开关 |
| 微开关电气额定值 | 24 V，1.5 A 交流或直流 |
| 大循环频率 | 900 h-1 |
| 波纹管性，MTTF | 5000000 循环 |
| 工作环境温度 | 5 - 100 °C |
| 高加热温度 | 100 °C |
| 构造材料 | HE30TF 铝 |
| O 型圈 | 氟橡胶 |
| 4 bar 时的打开/关闭时间 (ms) | SIPV40P |
| 随动阀 | 60/20 |
| 主阀 | 50/155 |
| 重量 (g/oz) |
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| SIPV40P | 1760 / 62 |
配有可选控制阀
