产品详情
  • 产品名称:AIGX-D-NW25 有源离子真空计

  • 产品型号:D04860000
  • 产品厂商:真空测量仪表
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简单介绍:
紧凑型有源离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝,测量范围极广,从 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar(5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr),并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards 的新型 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势,同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置,而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。
详情介绍:

概述

紧凑型有源离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝,测量范围极广,从 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar(5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr),并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards 的新型 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势,同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置,而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。
得益于极低的带电微粒辐射,AIGX 成为不能有背景噪声的制程的*佳选择。

功能和优势

  • **的 8 decade 测量功能,可达 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。
  • 有两种款型可用,每一种又有三种真空联轴器变型:
    • “D”型具有 9 针“D”接头盒标准接口;
    • “S”型具有增强的功能,与 Edwards 的各种控制器兼容。
  • 与主要竞争对手相比,带电粒子制程污染减少了 30%。
  • 自动防止在大气条件下启动灯丝以及在高压下运行或脱气。
  • 在整个测量范围内真空计灵敏度始终保持稳定,从而可以在更高压力下保持输出精度。
  • 在脱气过程中可以连续进行压力测量输出。
  • **性设计消除了 X 射线限制的影响。
  • 双色 LED 提供真空计状态的本地指示。
  • 输入电压范围宽。
  • 电子器件极易拆卸以进行*高达 200 °C 的加热。
  • “S”型提供有无缝的自动发射电流切换,延长了灯丝寿命。
  • “S”型提供有诊断输出,指示“发射关闭”、“灯丝烧坏”和“过压跳闸”,以帮助进行故障排除。
  • “S”型提供有一个可以用按钮调整的设定点。

技术数据

压力范围 6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar

(5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr)
电源供给 +14.5 至 +30.0 V 直流
功耗 正常工作:7W(*大),

脱气:14W(*大)
输出信号 线性,1 V / decade
响应时间 1.33 x 10-8 mbar

(>10-8 Torr) ˜ 100 ms

1.33 x 10-8 mbar

(<10-8 Torr) ˜ 1-2 s
*大电压 30 V(直流)
*大电流 100 mA(*大)
工作环境 干燥的非导电性大气
温度范围
工作温度 0 至 +40 °C
存储温度 -30 至 +70 °C
 
有关更多信息,请与 Edwards 联系。

沪公网安备 31011702004244号