产品详情
简单介绍:
HT 高吞吐量系列是我们扩散泵产品中的产品,采用针对工业级用户的制造。
Edwards HT10(ANSI10/ISO320 进气口)扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。构造坚固,即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能,不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性,可以制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量(压力乘以抽速),适合涉及大量气体的工业制程。
详情介绍:
概述
HT 高吞吐量系列是我们扩散泵产品中的产品,采用针对工业级用户的制造。
Edwards HT10(ANSI10/ISO320 进气口)扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。构造坚固,即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能,不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性,可以制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量(压力乘以抽速),适合涉及大量气体的工业制程。
Edwards HT10(ANSI10/ISO320 进气口)扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。构造坚固,即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能,不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性,可以制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量(压力乘以抽速),适合涉及大量气体的工业制程。
应用
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真空冶金
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蒸馏、干燥和脱气
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薄膜覆层和喷镀
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大型研究活动
功能和优势
- 与同等尺寸的泵相比,吞吐量高
- 与同等尺寸的泵相比,转换压力快
- 的大前级压力和对气体激增的耐受性
- 与同等尺寸的泵相比,具有无可比拟的抽速
- 集成的冷却帽,可实现佳性能和极低的回流
- 针对低压的自行分馏
- 易于更换的加热器组件
数据
相对抽速 | 4650 ls-1 |
ISO 抽速† |
|
氮气 | 3000 ls-1 |
氦气 | 4650 ls-1 |
AVS 泵送 |
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氮气 | 3330 ls-1 |
氦气 | 5165 ls-1 |
大吞吐量(氮气) | 10 mbar ls-1 |
|
7.5 Torr ls-1 |
临界前级压力 (DC704EU) | 1.1 mbar |
|
0.8 Torr |
大吞吐量的对应前级泵排量 | 60 m3h-1 |
|
35 ft3min-1 |
的前级泵‡ | GV80,E2M80 |
的液体 | DC704EU |
液体充填量(干) | 1250 ml |
|
1.3 qt |
进气口/前级连接 | ANSI10/ANSI12 或 EO12 inch/EO130 mm 或 ISO320/ISO63 |
水接头 | 3/8 英寸 NPT 母头 |
加热器功率 | 5.1 kW |
|
6.8 hp |
预热时间 | 30 分钟 |
冷却水流量(25 °C 时) | 400 l h-1 |
|
1.8 US gal min-1 |
冷却水供给源两端的压力降 | 1 bar |
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14.5 psi |
重量 | 80 kg |
|
176 lbs |
† 通过总压力测量获得的 ISO 速度和吞吐量数据。部分压力读数通常使数据增加 ~30%。对于同一个泵,ISO 速度测量通常比 AVS 测量小 10%。
‡ 提供这些数据仅供参考,请联系 Edwards 获得适合您的应用的泵组合建议。