产品详情
  • 产品名称:Edwards TW 真空泵油 4升

  • 产品型号:H11012013
  • 产品厂商:真空油
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简单介绍:
Edwards TW 是为旋转泵油要暴露在活泼气体或腐蚀性气体中的应用开发的。该油是蒸馏碳氢化合物,不含添加剂,但是已去除不饱和链和芳香链。因此,该油的持续时间*多可达到精制矿物油的 20 倍,具体取决于制程。更长的油的使用寿命可减少换油次数。
详情介绍:

概述

我们强烈建议仅使用推荐等级和质量的液体和密封剂,以便使 Edwards 产品保持高性能。如果使用劣质材料,可能会导致泵或系统效率降低、设备部分或全部故障以及严重的漏气。我们认为在许多严苛的应用中,使用可靠性未经验证的廉价液体和密封剂反倒不经济。我们所有的液体和密封剂均经过正规实验室检测。而且,我们通过自行使用这些材料,以及通过与出现非典型问题的用户保持密切联系,获得了相当丰富的现场经验。许多的设备性能不佳问题*终都是由于使用了不适当或不合格的液体和密封剂而造成的,因此我们郑重劝告您为应用选择正确的液体和密封剂。

基于矿物的材料
这些材料包括旋转泵油、Diffstak 以及扩散泵油和油脂。它们可针对不同的应用选用各种添加剂。

基于硅的材料
这些材料用于 Diffstak 以及扩散泵液体和油脂。它们由二甲基硅氧烷或苯基甲基硅氧烷构成。

有机化合物
这些材料包括各种受阻酯类、苯基醚类和基于萘的化合物。它们适用于 Diffstak 和扩散泵,但在有些独特的应用中,也可以用作旋转泵油。Edwards 可以对液体与特定应用之间的匹配提供建议。

氟化材料 (PFPE)
这些材料是全氟聚醚。全氟聚醚是一种完全氟化的材料,没有其他卤素和氢,因此对要求不含碳氢化合物的情况非常有价值。它会对 UF6、F2、O2、O3 等大多数活性化学物质保持惰性,并且在暴露到电子和大多数离子辐射中时不会发生聚合反应。全氟聚醚液体提供适用于旋转泵的等级。还提供低蒸汽压力的 Fomblin® 油脂 (AR555),该油脂同时具有良好的润滑特性和**的真空特性。

用于半导体应用的 PFPE
在侵蚀性制程条件会快速破坏普通碳氢化合物泵油的应用中,全氟聚醚 (PFPE) 化合物用量将出现大量增长。这尤其适用于半导体制程中。PFPE 的防腐蚀特性和化学惰性可大大延长工作时间,减少换油和维修次数,为许多严苛的泵应用提供性价比优异的解决方案。以下为 PFPE 的基本特性及其在真空系统应用中
的优势:

  • 化学惰性:是泵送腐蚀性材料的理想选择,尤其适用于半导体制程。
  • 高抗氧化性:液体不会由于在工作温度下反复暴露到空气中而被破坏。
  • 非易燃:无火灾危险。
  • 抗高温:不会由于过热而残留焦油化合物。*终减少气态产物。
  • 氧相容:可优良**地泵送氧气(经 NASA 批准的液氧系统)。对纯氧建议的*高工作温度和压力是 250 ºC 和 91.4 kg cm-2 ,以及 60 ºC 和 175.75 kg cm-2
  • 无聚合反应:暴露在高能粒子辐射下时不会发生聚合反应(氢离子除外)。这可以减少回流蒸汽的影响,在不能出现聚合反应的应用中(例如在电子显微镜中)是一项重要特性。
  • 能与大多数常用溶剂混合:即使不使用气囊,也可以泵送溶剂。
在加入 PFPE 之前,需要彻底清洁泵,以便充分发挥其性能优势。如果您没有经验丰富的技术人员,建议您将泵送到 Edwards 维修中心进行清洁和填充。有些可使用 PFPE 的高真空旋转泵和机械增压泵型号是作为标配提供的,可以在此目录的相应章节中找到。这些泵是用 PFPE 进行组装和测试的。

**说明:全氟聚醚是氟化物,如果暴露在 280 °C 以上的温度下,将释放出有毒蒸汽。请勿将 PFPE 暴露在明火中,并且工作场合禁止吸烟。 

应用

Edwards TW 是为液体要暴露在活泼气体或腐蚀性气体中的旋转泵应用开发的:

  • 蒸馏
  • 半导体

  • 化学泵


功能和优势

  • 该油是蒸馏碳氢化合物,不含添加剂,但是已去除不饱和链和芳香链。因此,该油的持续时间*多可达到精制矿物油的 20 倍,具体取决于制程。更长的油的使用寿命可减少换油次数。

技术数据

蒸汽压力 mbar:
  20°C 1.3 x 10-6*
  100°C -
分子量 430
15°C 时的比重 0.860
粘度 cSt:
 20°C 时 155
 40°C 时 65
倾点 °C -12
闪点 °C 243
自燃点 °C 270
含硫量百分比(质量/质量) 0

* 25 °C 时的蒸汽压力

沪公网安备 31011702004244号