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  • 产品名称:EH2600 液力偶合罗茨真空泵

  • 产品型号:EH2600
  • 产品厂商:罗茨式真空泵
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简单介绍:
Edwards EH 机械增压泵采用独特的液力驱动,可实现高效的动力传送,在经济性、性能和紧凑性方面拥有优势。这些增压泵适用于高压力差的场合,这种高压力差使增压泵可以与前级泵同时启动,从而减少总体抽气时间。
详情介绍:

EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是****的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。


应用

半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光


功能和优势

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到*低。

轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要*高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。


技术数据

EH2600

排量(工作容积)

2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1

使用前级泵时的有效抽速

1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1

泵的压力差

0-80 mbar/0-60 Torr

进气口连接

ISO160

出口连接

ISO100

转速

0-2900 rpm

连续进气口工作压力

0-1000 mbar/0-760 Torr

*大出口压力

1000 mbar/760 Torr

推荐的前级泵

GV250、GV400、
E2M175、E2M275

电机功率

碳氢化合物

11 kW/15 hp

PFPE

7.5 kW/10 hp

ATEX

11 kW

防爆

15 hp

环境温度范围

工作

5 至 40°C/40 至 104°F

存储

-10 至 80°C/14 至 176°F

*大工作湿度

90% RH

推荐用油

Ultragrade 20

油容量

齿轮箱

3.5 l/3.3 qt

联轴器盖

6.5 l/7 qt

轴封储油器

1.5 l/1.4 qt

重量

308 kg/679 lb

沪公网安备 31011702004244号